蛍光X線分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-021799
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222600
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】複数の分光素子を交換して用いる蛍光X線分析装置において、容易かつ迅速にあおり調整ができるものを提供する。【解決手段】交換機構11が有するモーター12の回転軸12a の回転、停止により、各分光素子7A...の回転位置の微調整を行い、微調整済みの各回転位置を記憶手段21に記憶し、使用される分光素子7A...について制御手段22により自動的に微調整済みの回転位置を再現する。

請求項（抜粋）：

試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する蛍光X線を平行化する発散ソーラースリットと、その発散ソーラースリットで平行化された蛍光X線が入射され、測定対象の蛍光X線を分光する分光素子と、その分光素子で分光された蛍光X線の強度を測定する検出器とを備えた蛍光X線分析装置であって、前記分光素子が複数で、使用される分光素子が交換機構により切り替えられ、その交換機構の有するモーターの回転軸が、前記発散ソーラースリットの箔の法線を含む平面のうち、前記検出器の受光面と直交する基準面に沿い、その回転軸の周方向に前記複数の分光素子が並べて取り付けられ、各分光素子について、その受光面が前記基準面に直交し、前記発散ソーラースリットで平行化された蛍光X線が入射されるような前記モーターの回転軸の回転位置を記憶する記憶手段と、使用される分光素子について、前記記憶手段が記憶した回転位置に前記モーターの回転軸を回転させる制御手段とを備えた蛍光X線分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/223 , G21K 1/06 , G21K 5/02

FI (3件)：

G01N 23/223 , G21K 1/06 N , G21K 5/02 X

Fターム (11件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001EA02 , 2G001EA08 , 2G001EA20 , 2G001FA06 , 2G001GA03 , 2G001JA05 , 2G001PA07 , 2G001SA02

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