光学式間隔センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富村潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248620
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240607
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】高い分解能および二次光反射に関する低い感度と同時に高いデータレートを有する光学式間隔センサを提供する。【構成】測定ビーム19の直径が照明ビーム18の直径にくらべてはるかに大きい。両ビームの直径が測定位置ではほぼ等しく、その際に照明ビーム18は測定ビーム19よりも大きい焦点深度を有する。測定ビーム19を分割するためのビーム分割ユニット154を有し、その後ろに分割された測定ビーム19の方向に光学系152a〜nおよびほぼ点状の光検出器21a-nが配置されており、その際に光検出器が高さ値を区別するため照明ビーム18の焦点深度のなかに分割された測定ビーム19の方向にずらされて配置されており、またそのつどの高さ段階が最大の光強度を有する光検出器により認識される。

請求項（抜粋）：

高さ値を求めるため、また三次元の表面測定をするため、特に電子平形モジュールを検査するための同焦点の光学的結像原理による光学式間隔センサであって、表面上に結像される点状の光源と、表面をステップ状に走査するためのビーム偏向ユニットと、照明ビーム(18)および測定ビーム(19)が通される走査対物レンズ(6)と、点状の光源に対して同焦点に配置されている光検出器(2)とを有する間隔センサにおいて、走査対物レンズ(6)の瞳孔のなかで測定ビーム(19)に比してはるかに小さい直径を有する照明ビーム(18)を有し、対象物表面上の測定位置における照明ビーム(18)および測定ビーム(19)のほぼ等しい直径を有し、その際に照明ビーム(18)が測定ビーム(19)よりも大きい焦点深度(T)を有し、測定ビーム(19)を分割するためのビーム分割ユニット(154)を有し、その後ろに分割された測定ビーム(19)の方向に光学系(152a〜n)およびほぼ点状の光検出器が配置され、その際に光検出器が高さ値を区別するため照明ビーム(18)の焦点深度(T)のなかに分割された測定ビーム(19)の方向にずらされて配置され、またそのつどの高さ段階が最大の光強度を有する光検出器により認識され、高さと共に変化する照明ビーム(18)の直径が焦点深度(T)のなかで正確に付設の光検出器のなかに結像されるように設計されている光検出器の直径を有することを特徴とする光学式間隔センサ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭52-107855
特開昭59-035163
特開昭61-259115

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