特許

J-GLOBAL ID：200903000259001272

新規酸感応性基で保護されたヒドロキシスチレン重合体およびこれらを含む放射線感応性材料

発明者： ムニラチュナ・パドマナバン ,  ゲオルグ・パブロウスキ ,  木下 義章 ,  岡崎 博 ,  増田 誠也 ,  船戸 覚 ,  山本 哲
出願人/特許権者： クラリアントアーゲー
代理人 (1件)： 鈴木 守三郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239141
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087724
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【目的】 遠紫外線、電子線、X線に対し、高感度、高解像度または定在波の発生および露光後の時間的経過よるパターン線幅の変化のない放射線感応性レジストおよびこれに用いられる新規重合体を提供すること。【構成】 新規重合体は、ヒドロキシスチレン重合体または共重合体の水酸基を、一般式 -CH(CH3 )OR11OXR12(式中、R11はC2 〜C6 のアルキレン基、Xは直接結合、-C(O)-、-C(O)O-、-S(O2 )-、-C(O)NH-または-C(S)NH-を示し、R12は1から6の炭素原子を有する直鎖、分岐鎖または環状のアルキル基、1から6の炭素原子を有する置換アルキル基、6から10の炭素原子を有するアリール基、6から10の炭素原子を有する置換アリール基または7から10の炭素原子を有するアルカリール基を示す)で示される酸感応性基で部分的に保護したもので、レジストは、この重合体と光酸発生化合物、塩基、添加剤、溶剤からなる。

請求項（抜粋）：

下記一般式Iで示される、酸感応性基で保護されたヒドロキシスチレン重合体または共重合体。一般式I【化1】〔式中、m,oは、各々、1以上の整数であって、o/m+oが0.1から0.9を示すものであり、nは、0または1以上の整数で、nが1以上の整数である場合には、n/m+n+oが0.05から0.5を示すものであり、R1 ,R2 ,R5 およびR6 は、各々、水素または1から6の炭素原子を有するアルキル基を示し、R3 およびR4 は、各々、水素、シアノ基、1から6の炭素原子を有するアルキル基、6から10の炭素原子を有するアリール基、置換アリール基または-COOR10基であるか、またはR3 とR4 とにより環状基-C(O)OC(O)-または-C(O)NR10C(O)-を形成するものを示し、ここにおいてR10は、水素原子、1から6の炭素原子を有する直鎖、分枝鎖あるいは環状のアルキル基、6から10の炭素原子を有するアリール基または7から10の炭素原子を有するアルカリール基を示し、R7 およびR8 は、各々、水素原子、塩素、臭素、1から6の炭素原子を有するアルキル基または1から6の炭素原子を有する置換アルキル基を示し、R9 は、一般式II-CH(CH3 )OR11OXR12(式中、R11は、2から6の炭素原子を有する直鎖または分枝鎖アルキレン基を示し、Xは、直接結合または-C(O)-,-C(O)O-,-S(O2 )-,-C(O)NH-あるいは-C(S)NH-基を示し、R12は、1から6の炭素原子を有する直鎖、分枝鎖または環状のアルキル基、1から6の炭素原子を有する置換アルキル基、6から10の炭素原子を有するアリール基、6から10の炭素原子を有する置換アリール基または7から10の炭素原子を有するアルカリール基を示す。)を示す。〕

IPC (3件)：

C08F 8/00 ,  C08F212/14 ,  C09D125/18

FI (3件)：

C08F 8/00 ,  C08F212/14 ,  C09D125/18

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-187942   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 架橋基を有する高分子化合物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-110396   出願人：信越化学工業株式会社
• 新規ポリマー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-035572   出願人：和光純薬工業株式会社
• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-330236   出願人：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド

審査官引用 (1件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-187942   出願人：日本合成ゴム株式会社