特許
J-GLOBAL ID：200903000259463446
感圧センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-249402
公開番号（公開出願番号）：特開2008-070240
出願日： 2006年09月14日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：
【課題】ダイヤフラムの厚肉部の内側に連接された薄肉部内壁に設けた2つの突起によって応力感応素子を支持する構造の周波数変化型絶対圧センサにおいて、薄肉部外面に曲げ応力が加わった場合に両突起を拡開方向へ変形させて応力感応素子を引張り方向へ応答性よく変形させることができる感圧センサを提供する。【解決手段】基台2と、基台との間に気密空間Sを形成する変形領域11、及び変形領域の外周縁を支持し且つ基台上面に接合される接合領域を有した弾性材料から成るダイヤフラム2と、ダイヤフラムの変形領域内壁に形成された素子搭載部12によって支持された応力感応素子30と、を備えた圧力センサ1であって、ダイヤフラムには、変形領域に加わる曲げ応力を各素子搭載部により支持された応力感応素子を軸方向へ伸張させる引張り応力に変換する応力変換部40が形成されている。【選択図】図1
請求項１：
基台と、該基台との間に気密空間を形成する変形領域、及び該変形領域の外周縁を支持し且つ該基台上面に接合される接合領域を有した弾性材料から成るダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの変形領域内壁に形成された素子搭載部によって支持された応力感応素子と、を備えた圧力センサであって、
前記ダイヤフラムには、前記変形領域に加わる曲げ応力を前記各素子搭載部により支持された応力感応素子を軸方向へ伸張させる引張り応力に変換する応力変換部が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2F055AA40
, 2F055BB01
, 2F055CC02
, 2F055CC55
, 2F055DD05
, 2F055DD09
, 2F055EE23
, 2F055FF11
, 2F055GG11
