ポジ型感光性組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047179
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249664
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【構成】下記一般式(I)で示されるジアゾニウム塩とアルカリ可溶なノボラック樹脂とを含有するポジ型感光性組成物において、ノボラック樹脂がm-クレゾール成分を60〜95重量%の割合で含有し、重量平均分子量が1,000〜8,000の範囲にあることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 は炭素数3〜18のアルキル基又は置換アルキル基を示し、R2 は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、アルコキシ基、置換アルコキシ基、フェノキシ基、置換フェノキシ基又はハロゲン原子を示す。Aは有機基を、X- は対アニオンを示す。nは1〜4の整数、mは1〜3の整数を示し、n+m=4である。【効果】高い感光性を有し、かつ鮮明な画像形成が可能である。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で示されるジアゾニウム塩とアルカリ可溶なノボラック樹脂とを含有するポジ型感光性組成物において、ノボラック樹脂がm-クレゾール成分を60〜95重量%の割合で含有し、重量平均分子量が1,000〜8,000の範囲にあることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 は炭素数3〜18のアルキル基又は置換アルキル基を示し、R2 は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、アルコキシ基、置換アルコキシ基、フェノキシ基、置換フェノキシ基又はハロゲン原子を示す。Aは有機基を、X- は対アニオンを示す。nは1〜4の整数、mは1〜3の整数を示し、n+m=4である。

IPC (4件)：

G03F 7/016 501 , G03F 7/00 503 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-099949
特開昭61-252546
特公昭49-029684

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