特許
J-GLOBAL ID：200903000269775888
有機電界発光素子の製造装置及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-001770
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214120
出願日： 2003年01月08日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させるにあたって、有機材料の膜厚制御をリアルタイムに正確に行えるようにする。【解決手段】有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置の構成として、有機材料を蒸発させる蒸発源1と、この蒸発源1から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、蒸発源1から蒸発した有機材料を通過させる開口H1を有する制限部材5(5A,5B)と、制限部材5の開口H1を通過した有機材料の蒸着速度を検出する膜厚計8と、この膜厚計8による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源1からの有機材料の蒸発量を制御する制御装置11とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置であって、
有機材料を蒸発させる蒸発源と、
前記蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、前記蒸発源から蒸発した有機材料を通過させる開口を有する制限部材と、
前記制限部材の前記開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出する検出手段と
を備えることを特徴とする有機電界発光素子の製造装置。
IPC (3件)：
H05B33/10
, C23C14/24
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/24 G
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029DA01
, 4K029DB01
, 4K029DB06
, 4K029DB17
