特許
J-GLOBAL ID：200903000270863111
画像処理方法と画像処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-298217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-108798
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】 判定精度を落とすことなく、加工工程前後の検体の検査を行い得る画像処理方法と画像処理装置を提供することを目的とする。【構成】 加工工程前における検体14の画像データである第1の画像データを取り込み、該第1の画像データを記憶し、加工工程後における検体14の画像データである第2の画像データを取り込み、該第2の画像データを記憶し、該第2の画像データを前記第1の画像データと比較し、加工工程後の検体14について判定する。
請求項（抜粋）：
加工工程前における検体の画像データである第1の画像データを取り込み、該第1の画像データを記憶し、加工工程後における検体の画像データである第2の画像データを取り込み、該第2の画像データを記憶し、該第2の画像データを前記第1の画像データと比較し、加工工程後の検体について判定することを特徴とする画像処理方法
IPC (2件)：
G06F 15/62 405
, H01L 21/66
