特許

J-GLOBAL ID：200903000270940647

セラミックス多層基板の製造方法

発明者： 山口 靖統
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-000961
公開番号（公開出願番号）：特開平5-183270
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 各工程におけるグリーンシートの位置決め精度を向上させることにより、セラミックス多層基板のスルーホールの導通不良及び高抵抗化を防止する。【構成】 グリーンシート1の周縁に透設された複数の位置決め用穴H1 〜H12にシート固定用治具2のガイドピン3,3a,3bを挿通して、グリーンシート1を固定する。このような固定状態でスルーホール形成用孔4aの形成、スルーホール4及び導体回路パターン5の印刷並びにグリーンシート1の積層を行う。これらの各工程を行う際、ガイドピン3,3a,3bが挿通される位置決め用穴H1 〜H12の組合せを各工程毎に変更する。

請求項（抜粋）：

グリーンシート(1)の周縁に透設された複数の位置決め用穴(H1 〜H12)にシート固定用治具(2)のガイドピン(3,3a,3b)を挿通して、グリーンシート(1)を固定した状態で、スルーホール形成用孔の(4a)形成、スルーホール(4)及び導体回路パターン(5)形成並びにグリーンシート(1)積層の各工程を行うセラミックス多層基板の製造方法において、前記ガイドピン(3,3a,3b)が挿通される位置決め用穴(H1 〜H12)の組合せを、前記各工程毎に変更することを特徴とするセラミックス多層基板の製造方法。