欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-204078
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051014
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】この発明はピッチ変換部の短絡などの異常箇所を容易に検査できるような欠陥検査装置を提供することを主要な特徴する。【構成】発光部4から光学系3を介してXYテーブル2上に載置された被検査対象1にレーザ光が照射され、その反射光が検出部6で検出されるとともに、被検査対象1の拡大画像がテレビカメラ5で撮像され、その画像出力が変換部7で変換されてCPU8に与えられる。CPU8は検出部6の検出出力と画像出力とに応じて、被検査対象1のピッチ変換部13の斜めパターンの欠陥を検査するとともに、駆動回路9を介してXYテーブル2を傾斜部に沿って移動させる。

請求項（抜粋）：

平行に配置された複数の第1のパターンと、前記複数の第1のパターンとは異なるピッチで平行に配置された複数の第2のパターンと、前記第1のパターンと前記第2のパターンとを接続するために傾斜して形成された第3のパターンとを含む被検査対象における前記第3のパターンの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、前記被検査対象をXY方向に移動させるためのテーブル、前記被検査対象の画像を撮像するための撮像手段、および前記撮像手段の出力に応じて、前記第3のパターンの傾斜部の情報を演算し、前記テーブルを傾斜方向に沿って移動させるとともに欠陥を検査する演算制御手段を備えた、欠陥検査装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-201144
特開昭63-168503
特開平2-088911

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