特許

J-GLOBAL ID：200903000276410577

位置検出方法、位置検出装置及び該検出装置を用いた 投影露光装置

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264414
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】可干渉性照明光を使って半導体ウェハ上の格子マークを検出する際、マークの断面構造やレジストの膜厚変化に応じて変動する検出誤差を低減する。【構成】感光基板上に形成された格子状マークに可干渉性のビームを照射するアライメント系において、マーク照射ビームを3つ以上の互いに異なる波長λ1 ,λ2 ,λ3 ... λn で多波長化し、マークから発生する多波長化された回折光を光電検出するマーク位置検出装置であって、λ1 <λ2 <λ3 ... <λn としたときの各波長の関係が、1/λ1 -1/λ2 =1/λ2 -1/λ3 ...=1/λn-1 -1/λnをほぼ±10%程度の範囲で満たすように設定する。

請求項（抜粋）：

平板状物体の表面に微小段差構造を伴って形成された位置検出用の格子マークに一対の可干渉性光束を互いに対称的な入射角で照射し、前記格子マークから特定の方向に発生する回折光の光量変化を光電検出して得られた信号に基づいて、前記格子マークの周期方向の位置を検出する方法において、前記格子マークを対称的に照射する可干渉性光束を互いに異なる3以上のn個の波長λ1 ,λ2 ,λ3 ...,λn からなるn対の光束に多波長化する工程を含み、前記各波長の大小関係をλ1<λ2<λ3...<λnとしたとき、(1/λ1-1/λ2)=(1/λ2-1/λ3)=(1/λn-1-1/λn)の関係が約±10%の範囲内で近似的に満たされるように前記n個の各波長を設定したことを特徴とする位置検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/02

FI (4件)：

H01L 21/30 525 G ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 525 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024441   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭64-086518