磁気探傷方法並びにセンサ及びシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-170082
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014601
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】容易に精度よく被測定物上の欠陥等が検出できる磁気探傷方法等を得る。【解決手段】被測定物20と直交交差するような磁束を生じさせる磁界を磁鉄心1、励起コイル2により発生させる工程と、被測定物20の欠陥に起因する磁束の変化をSQUID素子5により検出する工程とを有している。

請求項（抜粋）：

被測定物と直交交差するような磁束を生じさせる磁界を発生させる工程と、前記被測定物の欠陥に起因する磁束の変化を超伝導量子干渉素子により検出する工程とを有することを特徴とする磁気探傷方法。

IPC (2件)：

G01N 27/90 , H01L 39/22 ZAA

FI (2件)：

G01N 27/90 , H01L 39/22 ZAA D

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