出力安定化短波長光源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏木明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343952
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194704
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】内部共振器型光第2高調波発生素子を用いた出力安定化短波長光源において、高調波出力の光強度を、出力光の低下や波面を乱すことなく、信頼性高く安定化させること。【構成】非線形光学媒質25で波長変換されて出力される高調波のうちレーザ媒質24側に発生する高調波を抽出する高調波抽出手段27と、抽出された高調波の光強度を計測する受光素子28とを設け、注入電流制御手段31によりこの受光素子28からの電気信号の変化に対応して励起用半導体レーザ22の注入電流を制御すると同時に、ケース温度制御手段34によりこの注入電流の増減分に対応して励起用半導体レーザ22のケース温度をも制御することで、発振波長を一定化した状態下で信頼性の高い出力安定化制御を行えるように構成した。

請求項（抜粋）：

少なくとも励起用半導体レーザとレーザ媒質と非線形光学媒質とによる内部共振器型光第2高調波発生素子を備えて高調波のレーザ光を出力する出力安定化短波長光源において、前記非線形光学媒質で波長変換されて出力される高調波のうち前記レーザ媒質側に発生する高調波を抽出する高調波抽出手段と、この高調波抽出手段により抽出された高調波の光強度を計測する受光素子と、この受光素子からの電気信号の変化に対応して前記励起用半導体レーザの注入電流を制御する注入電流制御手段と、この注入電流の増減分に対応して前記励起用半導体レーザのケース温度を制御するケース温度制御手段とを設けたことを特徴とする出力安定化短波長光源。

IPC (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/109 , H01S 3/133

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-239238
特開平3-024781
特開平2-239238

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