異物検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅原正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080432
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258157
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 0.08μm以下の超微小異物や欠陥等の検出も可能な異物検査装置を提供する。【解決手段】検査対象物1の表面に異なる角度から複数のレーザー光15a,15bを同一点に照射する複数のレーザー光源14a,14bと、同一点の異物2からの散乱光6を検出して散乱光強度に応じた散乱強度信号を出力する光検出器17とを備えた異物検査装置。また、異なる角度に設置された複数の光検出器と、該複数の光検出器から出力される散乱強度信号を加算して出力する信号加算器とを備えた構成でもよい。

請求項（抜粋）：

検査対象物の表面に異なる角度から複数のレーザー光を同一点に照射する複数のレーザー光源と、前記同一点からの散乱光を検出して散乱光強度に応じた散乱強度信号を出力する光検出器とを備えたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/47 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/47 Z , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-061040 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-026359 出願人：株式会社東芝
特開平4-001559

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