特許

J-GLOBAL ID：200903000295112323

オゾン殺菌装置

発明者： 渡辺 清 ,  矢嶋 健司 ,  松本 茂樹
出願人/特許権者： 株式会社ゼクセル
代理人 (1件)： 高野 昌俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114189
公開番号（公開出願番号）：特開平10-290827
出願日： 1997年04月17日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 酸素供給制御電磁弁が故障しても殺菌ブース内の圧力が異常上昇しないようにすること。【解決手段】 検出オゾン濃度が上限値以上となったか否かをステップ41で判別し、上限値以上と判別された場合においてオゾン流量センサ6Bの検出値が零でないとステップ46で判別された場合、第1の電磁弁5Cを故障と判別し、ステップ48で第2の電磁弁5Dを閉じて酸素の供給を停止する。この結果、第1の電磁弁5Cがオープン故障しても殺菌ブース内の圧力が異常上昇するのを防止できる。

請求項（抜粋）：

オゾン発生器に酸素供給源から第1の電磁弁を介して酸素を供給するように構成すると共に前記オゾン発生器の下流側に設けられたオゾン流量計まで酸素が流れてきたことを検出してから前記オゾン発生器の運転を開始し、発生したオゾンが殺菌ブースに送られるように構成されているオゾン殺菌装置において、前記第1の電磁弁と直列に前記オゾン発生器への酸素供給を制御するための第2の電磁弁を設け、前記オゾン流量計の検出値が所定値を越えたことに応答して前記第2の電磁弁を閉じるようにしたことを特徴とするオゾン殺菌装置。