特許

J-GLOBAL ID：200903000304911056

二段エッチング加工法用バックコート材

発明者： 山下 憲久 ,  岸 敏夫 ,  小菅 勇治 ,  浅野 孝輝
出願人/特許権者： 冨士薬品工業株式会社
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345634
公開番号（公開出願番号）：特開平6-173039
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 水性の二段エッチング加工法用バックコート材を提供する。【構成】 金属板に小さい孔径の孔をあけるためにフォトエッチング法を用いてレジスト膜を形成し、まず片面あるいは両面から所定の深さまでハーフエッチングを行い、その片面のエッチング部にバックコート材として樹脂組成物をムラなく充填し、加熱硬化後次に反対側からエッチングを行って孔を貫通させた後レジスト及び該樹脂組成物をアルカリ水を主成分とする剥離液を用いて剥離する二段エッチング加工法に使用するための前記樹脂組成物が、自己架橋型ソープレスエマルジョンを含むアクリルおよび/またはメタクリル系共重合体のアンモニア水溶液とアセチレンアルコール化合物および/またはアセチレングリコール化合物および水溶性架橋剤を含有することを特徴とする二段エッチング加工用バックコート材。

請求項（抜粋）：

金属板に小さい孔径の孔をあけるためにフォトエッチング法を用いてレジスト膜を形成し、まず片面あるいは両面から所定の深さまでハーフエッチングを行い、その片面のエッチング部にバックコート材として樹脂組成物をムラなく充填し、加熱硬化後次に反対側からエッチングを行って孔を貫通させた後レジスト及び該樹脂組成物をアルカリ水を主成分とする剥離液を用いて剥離する二段エッチング加工法に使用するための前記樹脂組成物が、自己架橋型ソープレスエマルジョンを含むアクリルおよび/またはメタクリル系共重合体のアンモニア水溶液とアセチレンアルコール化合物および/またはアセチレングリコール化合物および水溶性架橋剤を含有することを特徴とする二段エッチング加工用バックコート材。

IPC (2件)：

C23F 1/00 ,  H01J 9/14