特許

J-GLOBAL ID：200903000309201880

ゲート電極として使用される遷移金属合金およびこれらの合金を取り入れた装置

発明者： ドーツィー,マーク ,  バクスター,ネイザン ,  チャウ,ロバート ,  ハルコネン,カリ ,  ラング,テーム
出願人/特許権者： インテル コーポレイション
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  松本 晃一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-523323
公開番号（公開出願番号）：特表2007-502367
出願日： 2004年08月11日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

高温で顕著に変化しないn型またはp型の仕事関数を有する遷移金属合金の実施例を示した。示された遷移金属合金は、トランジスタのゲート電極として使用しても良く、ゲート電極の一部を構成しても良い。これらの遷移金属合金を用いて、ゲート電極を形成する方法についても示した。

請求項（抜粋）：

チタン、ジルコニウム、タンタルおよびハフニウムからなる群から選定された、約20から50原子%の遷移金属と、 約30から60原子%の炭素と、 約20原子%以下のアルミニウムと、 を有する合金。

IPC (10件)：

C22C 14/00 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/28 ,  C22C 16/00 ,  C22C 27/02 ,  C22C 28/00 ,  C22C 27/04 ,  C22C 27/06

FI (12件)：

C22C14/00 Z ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/58 G ,  H01L21/28 301R ,  C22C16/00 ,  C22C27/02 103 ,  C22C28/00 B ,  C22C27/04 101 ,  C22C27/06 ,  C22C27/04 102 ,  C22C27/02 101Z ,  C22C27/02 102Z

Fターム (38件)：

4M104BB34 ,  4M104BB36 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104CC05 ,  4M104DD33 ,  4M104DD43 ,  4M104EE03 ,  4M104EE16 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F140AA06 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140AC36 ,  5F140BA07 ,  5F140BD04 ,  5F140BD11 ,  5F140BE09 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF06 ,  5F140BF09 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF14 ,  5F140BF15 ,  5F140BF38 ,  5F140BG08 ,  5F140BG19 ,  5F140BG28 ,  5F140BG29 ,  5F140BG30 ,  5F140BG37 ,  5F140BG58 ,  5F140BH14 ,  5F140BK13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 耐摩耗性被覆部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-180908   出願人：東芝タンガロイ株式会社
• 特開昭58-151448
  
• 特開昭58-130245