特許
J-GLOBAL ID：200903000315015010

チューナブルフィルタ、その製造方法、及びそれを使用した光スイッチング装置

発明者：
佐藤 明伸

佐藤 明伸 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-163645
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012642
出願日： 2002年06月04日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】波長多重度を増大させても隣接チャンネルのクロストークを低減でき、装置の使用波長を迅速に変更できるチューナブルフィルタ及びその製造方法、更にはこのチューナブルフィルタを使用した光スイッチング装置を提供する。【解決手段】ファブリペローエタロン構造のチューナブルフィルタにおいて、2つ以上のキャビティギャップ114〜116を有し、キャビティギャップの間隔を静電駆動、電磁駆動又はピエゾ駆動のいずれかの方式により調節する。この場合に、キャビティギャップは、この部分に犠牲層を形成しておき、複数の光学多層膜100〜103を形成した後、この犠牲層をエッチング除去することにより形成することができる。基板107,109は支柱108を介して貼り合わせる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1基板と、第2基板と、前記第1基板及び前記第2基板の各対向面上に夫々形成された第1及び第4の光学多層膜と、前記第1の光学多層膜との間に間隔を設けて配置され前記第1基板に弾性変形するバネ部を介して支持された第2の光学多層膜と、前記第2の光学多層膜及び前記第4の光学多層膜との間に間隔を設けて配置され前記第2基板に弾性変形するバネ部を介して支持された第3の光学多層膜と、前記第1基板と前記第2基板との間隔を変更可能に両者を支持する支持部と、前記第1及び第2の光学多層膜の間の間隔、前記第3及び第4の光学多層膜の間の間隔、前記第1基板と前記第2基板との間の間隔を変更する夫々第1乃至第3の駆動部とを有することを特徴とするチューナブルフィルタ。
IPC (2件)：
G02B26/00 ,  B81B3/00
FI (2件)：
G02B26/00 ,  B81B3/00
Fターム (6件)：
2H041AA21 ,  2H041AB15 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM