特許
J-GLOBAL ID:200903000317352684
感光体製造方法、及び電子写真感光体、及びそれを用いた電子写真装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
宮崎 昭夫
, 金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-205408
公開番号(公開出願番号):特開2004-126541
出願日: 2003年08月01日
公開日(公表日): 2004年04月22日
要約:
【課題】画像欠陥を大幅に改善させることができる電子写真感光体製造方法を提供する。また、それによって製造された電子写真感光体、および電子写真装置を提供する。【解決手段】第1ステップとして、成膜炉内に基体を設置し、原料ガスを高周波電力により分解し、非単結晶材料からなる第1の層を積層する工程と、第2ステップとして、基体を大気に晒す工程と、第3ステップとして、少なくとも原料ガスを高周波電力により分解し、非単結晶材料からなる上部阻止層を含む第2の層を積層させる工程と、第4ステップとして、非単結晶材料からなる表面層を第3の層として積層させることを特徴とする電子写真感光体の製造方法、及び該電子写真感光体、ならびに該電子写真感光体を用いた電子写真装置。【選択図】 図2
請求項1:
非単結晶材料からなる層を含む電子写真感光体の製造方法において、
第1ステップとして、排気手段と原料ガス供給手段を備えた真空気密可能な成膜炉内に基体を設置し、少なくとも原料ガスを高周波電力により分解し、該基体上に少なくとも、非単結晶材料からなる第1の層を積層する工程と、
第2ステップとして、前記第1の層を積層した基体を、酸素および水蒸気を含むガスに晒す工程と、
第3ステップとして、成膜炉内に前記第1の層を積層した基体を設置し、少なくとも原料ガスを高周波電力により分解し、前記第1の層上に非単結晶材料から成る上部阻止層を含む第2の層を積層させる工程と、
第4ステップとして、前記第2の層上に第3の層として非単結晶材料からなる表面層を積層させる工程と
を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
IPC (2件):
FI (6件):
G03G5/08 360
, G03G5/08 303
, G03G5/08 304
, G03G5/08 305
, G03G5/08 306
, G03G5/00 101
Fターム (8件):
2H068DA05
, 2H068DA06
, 2H068DA07
, 2H068DA08
, 2H068DA09
, 2H068DA19
, 2H068DA23
, 2H068EA24
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