特許
J-GLOBAL ID：200903000324764890
高温気体定流量発生装置およびプロセス装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164371
公開番号（公開出願番号）：特開平7-018449
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 高温気体の発生量を正確に制御し、プロセス容器等の被供給部に一定量の流量を供給する。【構成】 高温気体の原料1を高温気体発生源2に収め、高温気体発生源2の周囲にヒータ3を設け、高温気体発生源2とプロセス容器4とを供給管7によって接続し、供給管7に高温気体の発生量を非破壊検出法を用いて検出する発生量検出器12を設け、供給管7の発生量検出器12の上流側に高温気体流量制御器13を設け、高温気体流量制御器13を発生量検出器12の信号により制御手段14を介して制御する。【効果】 高温気体を利用するプロセス装置の使用可能分野の拡大、生産性の向上が達成され、またその結果プロセス装置により製造された原材料を用いて製造するデバイス、装置の性能も大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
高温気体発生源から被供給部に高温気体を供給する高温気体定流量発生装置において、上記高温気体の発生量を非破壊検出法を用いて検出する発生量検出器の信号により制御することを特徴とする高温気体定流量発生装置。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, H01L 21/205
, C30B 25/14
