特許
J-GLOBAL ID：200903000327653399
狭帯域発振エキシマレーザ装置およびそのパージ方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352812
公開番号（公開出願番号）：特開平5-167172
出願日： 1991年12月16日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 狭帯域発振エキシマレーザ装置でレーザの発振波長やビームプロフィルに発生する揺らぎを防止する。【構成】 狭帯域発振として少なくともグレーティングを配置した狭帯域レーザにおいて、前記狭帯域化素子を筺体で囲う手段と、清浄気体で前記筺体内をパージする手段と、パージすることによって前記グレーティングの溝表面へのパージ気体の流入防止手段を設けた。また、狭帯域発振として少なくともグレーティングを配置した狭帯域レーザにおいて、窒素あるいはヘリウム等の不活性ガスまたは空気等のレーザ光に反応、および吸収しない気体をHEPA等のフィルタを透過して清浄気体とし、その清浄気体がグレーティングの溝表面に吹き付けないことによりレーザの発振波長およびビームプロフィルの揺らぎをなくしている。
請求項（抜粋）：
狭帯域発振として少なくともグレーティングを配置した狭帯域レーザにおいて、前記狭帯域化素子を筺体で囲う手段と、清浄気体で前記筺体内をパージする手段と、前記グレーティングの溝表面へのパージ気体流入防止手段を備えたことを特徴とする狭帯域発振エキシマレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/137
, H01S 3/08
, H01S 3/106
