特許

J-GLOBAL ID：200903000327734747

ガラスウエーハ用研磨キャリアおよびその研磨方法

発明者： 藤村 頼人 ,  柴野 由紀夫 ,  滝田 政俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055434
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は厚さの薄いガラスウエーハを精度よく、かつ短時間で研磨することができるガラスウエーハ用研磨キャリアおよびその研磨方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明のガラスウエーハ用研磨キャリアは、両面研磨機に用いる厚さ1mm以下の薄いガラスウエーハ用の研磨キャリアにおいて、ガラス繊維樹脂製のキャリアのギア部を金属で強化した二重構造とし、金属製のギア部をガラス繊維樹脂より 0.1〜0.2mm 厚いものとしてなることを特徴とするものであり、この研磨方法は接合部を強度確保のために段付き形状としてなる研磨キャリアを使用して、ガラスウエーハを研磨することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

両面研磨機に用いる厚さ1mm以下の薄いガラスウエーハ用の研磨キャリアにおいて、ガラス繊維樹脂製のキャリアのギア部を金属で強化した二重構造とし、金属製のギア部をガラス繊維樹脂より 0.1〜0.2mm 厚いものとしてなることを特徴とするガラスウエーハ用研磨キャリア。