特許

J-GLOBAL ID：200903000337091135

配線パターン検査装置

発明者： 丸山 祐二 ,  山本 淳晴 ,  川村 秀昭 ,  川上 秀彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346031
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180636
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 プリント基板やホトマスク等における配線パターンの不良を検査するためのパターン検査装置に関するもので、基準データを作る際に特徴が発生する場合と発生しない場合の両方のデータを持つことにより安定したパターン検査を実現することを目的とする。【構成】 プリント基板101上に形成された配線パターンを画像入力手段103で入力し、2値化手段105により濃淡画像を2値画像に変換し、 配線パターンの背景側から連結性を保持しつつ所定n画素細める細線化処理を細線化手段106で施し、第1の特徴抽出手段107でスケルトン画像の端点およびT分岐の特徴を抽出し、一方、第2の特徴抽出手段109で細線化処理の各処理段からのスケルトン画像からそれぞれ端点およびT分岐等の特徴を検出し、その特徴を基準データとして記憶している特徴情報記憶手段110の基準データと第1の特徴抽出手段107からの特徴状とを判定手段108で比較し、真の欠陥のみを検出する。

請求項（抜粋）：

プリント基板上に形成された配線パターンを光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、配線パターンの背景側から連結性を保持しつつ1画素づつ所定n画素細めて連結したスケルトン画像に変換する細線化処理手段と、前記前細線化処理手段からのスケルトン画像から終端とT分岐等の特徴を抽出する第1の特徴抽出手段と、予め標準良品基板で前記細線化処理手段からのn段目およびn段±m段目のスケルトン画像からそれぞれ終端とT分岐等を検出し論理積および論理和した特徴情報を抽出する第2の特徴抽出手段と、前記第2の特徴抽出手段からの特徴情報を基準データとして記憶する特徴情報記憶手段と、前記第1の特徴抽出手段からの特徴情報と前記特徴情報記憶手段からの基準データと比較し真の欠陥のみを検出する判定手段とを具備した配線パターン検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/66 400 ,  H05K 3/00