特許
J-GLOBAL ID:200903000337420171

振動検出装置および振動検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 長七 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-219342
公開番号(公開出願番号):特開平9-061232
出願日: 1995年08月28日
公開日(公表日): 1997年03月07日
要約:
【要約】【課題】振動体の振動をより正確に測定できるようにした振動検出装置および振動検出方法を提供する。【解決手段】振動体2は浮動体12に結合された保持装置13に保持され、浮動体12は空気軸受11とリニアアクチュエータ15とにより支持フレーム10に対して非接触で支持される。振動体2は上下方向の振動を発生し、空気軸受11により上下方向に移動規制された浮動体12の位置が位置センサ14により検出される。また、リニアアクチュエータ15は位置センサ14により検出される浮動体12の位置が定位置に保たれるように制御手段20により制御される。したがって、リニアアクチュエータ15に与える操作量は、振動体2の加振力に相当する。
請求項(抜粋):
振動を発生する振動体の加振力を検出する振動検出装置であって、定位置に固定された支持フレームと、振動体を保持する保持手段と、保持手段に結合され支持フレームに対して振動体より生じる加振力の作用方向に移動自在な浮動体と、浮動体を支持フレームに対して非接触で支持するとともに上記作用方向にのみ移動可能となるように浮動体の移動方向を規制する支持手段と、支持フレームの定位置に配置され上記作用方向における浮動体の位置を検出する位置検出手段と、支持フレームの定位置に配置され支持フレームと浮動体とを非接触に保った状態で上記作用方向における外力を浮動体に作用させる力発生手段と、位置検出手段による検出位置を定位置付近に保つように力発生手段により発生する外力を振動体により生じる加振力の抑制方向に制御する制御手段とを備え、制御手段より力発生手段に与える操作量に基づいて振動体の加振力を検出することを特徴とする振動検出装置。

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