特許
J-GLOBAL ID：200903000345148472
マイクロレンズアレイの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259810
公開番号（公開出願番号）：特開平8-099368
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 両凸型のマイクロレンズを形成する。【構成】 ガラス基板11上に形成された窒化シリコン等からなる透明平坦層12の表面のレンズ形成領域に、ウェットエッチングにより、凹面鏡状の凹部15を形成する。次に、凹部15の中央部にレンズ材レジストパターン16aを形成する。次に、露光することにより、レンズ材レジストパターン16aを脱色して透明化する。次に、150°C程度の温度で5分間程度の熱処理を行うと、レンズ材レジストが溶融して凹部15を埋めつくし、この後冷却されて固化する際に、凹部15から突出した部分におけるレンズ材レジストの表面が表面張力により曲面となる。かくして、両凸型のマイクロレンズ16bが形成される。
請求項（抜粋）：
透明平坦層の表面のレンズ形成領域に凹面鏡状の凹部を形成し、該凹部に両凸型のマイクロレンズを形成することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
IPC (3件)：
B29D 11/00
, G02B 3/00
, B29K105:32
