特許
J-GLOBAL ID:200903000351631592

光制御デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内原 晋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-253278
公開番号(公開出願番号):特開平5-093925
出願日: 1991年10月01日
公開日(公表日): 1993年04月16日
要約:
【要約】【目的】光制御デバイスの特性を、設計通りに歩留り良く、常に安定して得ることができる。【構成】誘電体結晶基板1の裏面に設けた第1の層10を有する光制御デバイスである。この層を設けることにより、熱膨張係数や光弾性定数の違いにより誘電体結晶基板1とバッファ層6との間に生じる歪を除去することができる。従って、光導波路特性は光導波路を誘電体結晶基板に形成したときの特性を保持しており、設計通りの特性を歩留りよく得ることができる。
請求項(抜粋):
電気光学効果を有する誘電体結晶基板に形成された光導波路と、前記誘電体結晶基板表面に堆積されたバッファ層と、該バッファ層の上の前記光導波路の近傍に設けられた制御電極とを含んで構成される光制御デバイスにおいて、前記誘電体結晶基板に対する応力が前記バッファ層と等しくなる第1の層を前記誘電体結晶基板裏面に設けたことを特徴とする光制御デバイス。
IPC (3件):
G02F 1/313 ,  G02B 6/12 ,  G02F 1/035
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-122915

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