特許
J-GLOBAL ID:200903000352404590
ポジ型感光性組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-024011
公開番号(公開出願番号):特開平10-221852
出願日: 1997年02月06日
公開日(公表日): 1998年08月21日
要約:
【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の波長の露光光源の使用に好適で、良好な感度、解像度を与え、耐ドライエッチング性が優れ、露光後PEB処理まで経時させてもプロファイル等の性能変動が小さいポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する基を有する繰り返し構造単位と、脂環式基を有する繰り返し構造単位と、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する繰り返し構造単位を有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。
請求項(抜粋):
活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する基を有する繰り返し構造単位を少なくとも1つと、脂環式基を有する繰り返し構造単位を少なくとも1つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する繰り返し構造単位を少なくとも1つ有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (6件):
G03F 7/039 601
, G03F 7/039 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/027
FI (6件):
G03F 7/039 601
, G03F 7/039 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
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