特許
J-GLOBAL ID：200903000354929177
パターン検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-000585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182887
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】本発明の目的は、検出した欠陥を異物かどうか識別して検査可能な外観検査方法及び装置を提供することにある。【構成】被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、欠陥検出手段60と欠陥情報記憶手段と異物検出手段62を有し、欠陥検出後に、検出した欠陥位置で異物検出し、異物とそれ以外に分類することを特徴とするパターン検査装置。【効果】検出した欠陥を異物かどうか識別して検査でき、欠陥発生を防止するためのより適切な対策が実施できる。
請求項（抜粋）：
被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査において、欠陥検出後に、欠陥として検出した位置で異物検出を行い、欠陥を異物とそれ以外に分類することを特徴とするパターン検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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