特許
J-GLOBAL ID：200903000361397024
平行に作動する2個のマニュプレータを有する位置決め装置及びその位置決め装置が設けられている光学リソグラフィック装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
沢田 雅男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-218282
公開番号（公開出願番号）：特開平6-085033
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 格納位置から動作位置まで板状対象物を交互に搬送する2個の搬送アームを有する装置を提供する事。【構成】 搬送アームは、各々、別々のマニュプレータにより変位可能であるので、対象物の即座の交換が可能である。マニュプレータは、各々フレームに固定されている2個の平行なYガイドと、2個のYガイドに沿って変位可能であるXガイドとを有し、搬送アームは各々Xガイドの1個に沿って変位可能である。この位置決め装置は、マスクサポート上に交互にマスクを配置する光学リソグラフィック装置に使用される。マスクサポートが固定される光学リソグラフィックのマシンフレームは、スプリング部材により位置決め装置のフレームに結合されている。マスクをマスクサポート上に正確に位置決めすることを可能とするため、この光学リソグラフィック装置には、位置決め装置を制御する電子制御ユニットに結合されている光学センサーシステムが設けられている。
請求項（抜粋）：
Z軸を横切る面内に延在する動作位置に格納位置から板状対象物を交互に搬送する第一及び第二搬送アームを有し、次の対象物を前記第二搬送アームによって動作位置から取り出した後、前記第一搬送アームにより対象物を動作位置に載置する位置決め装置において、前記搬送アームが、X方向と前記X方向に垂直なY方向(前記X方向と前記Y方向は前記Z方向に垂直)とに平行な別々のマニュプレータにより各々変位可能であることを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/02
, H01L 21/027
