カセットからの基板取り出し装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096978
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050803
出願日： 1990年04月16日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】カセットからの基板の取り出しに際して、塵埃の発生を極力抑えることができるカセットからの基板取り出し装置を提供する。【解決手段】カセットCを静止させ、投光素子22と受光素子23とを一体に昇降させることにより、カセットC内の各溝の基板の有無を検出する。検出した各溝の基板有り無し情報をメモリに記憶する。カセットCから基板を取り出すときは、メモリ内の基板有り無し情報を参照して、取り出そうとする基板の高さにまで、基板吸着アーム5を昇降させる。続いて、基板吸着アーム5をカセット内に進入させて基板を取り出す。基板の有無の検出および基板の取り出しに際して、カセットCが動かないので、塵埃の発生を抑えることができる。

請求項１：

カセットを静止して載置するカセット載置台と、投光素子と受光素子を、カセットを挟んで水平方向に対して傾斜した角度で対向配置して、一体に昇降可能に取り付けた光センサと、前記光センサを昇降させる光センサ昇降機構と、カセット内へ向けて前後動し、昇降動する基板支持アームとを備え、前記光センサによって検出されたカセット内の基板に対応する位置にまで前記基板支持アームを昇降させて基板の取り出しを行うカセットからの基板取り出し装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 541 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B65G 1/00 541 , B65G 49/07 L

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭59-175740
特開平2-001113
特開平3-222345

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