特許
J-GLOBAL ID:200903000372312829

認識マーク認識装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 板垣 孝夫 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司 ,  原田 洋平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-085075
公開番号(公開出願番号):特開2006-269698
出願日: 2005年03月24日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
【課題】 補強板が無い構造でもCOFパッケージの認識マークの認識率を向上できる認識マーク認識装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ステージ21上に、配線基板22に配置される認識マーク23を撮影する認識カメラ25の焦点が合う領域よりも深さが深い凹部26を設けることにより、前記認識カメラ25が前記認識マーク23の表面に焦点を合わせて前記認識マーク23を撮影する際に、前記ステージ上の傷や紋様に焦点が合うことが無くなるため、前記認識マーク23の認識率を向上することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
配線基板に半導体素子を実装するに際し、前記配線基板および前記半導体素子の認識マークの位置を認識する認識マーク認識装置であって、 照射光を発生する光源と、 前記照射光に照らされた前記認識マークを撮影する認識カメラと、 前記配線基板が載置され、前記認識カメラの焦点深度より深い凹部を設けるステージと を有することを特徴とする認識マーク認識装置。
IPC (1件):
H01L 21/60
FI (1件):
H01L21/60 311T
Fターム (14件):
5E313AA02 ,  5E313AA11 ,  5E313AA12 ,  5E313CC04 ,  5E313EE03 ,  5E313EE24 ,  5E313FF31 ,  5E313FF40 ,  5E313FG10 ,  5F044KK03 ,  5F044KK06 ,  5F044NN01 ,  5F044PP03 ,  5F044PP17
引用特許:
出願人引用 (1件)

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