特許
J-GLOBAL ID：200903000373657374
半田ボールの搭載装置および搭載方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292937
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153960
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 チップや基板などのワークの電極にバンプを形成するための半田ボールをワークの電極に多数個一括して作業性よく搭載できる半田ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。【構成】 吸着ヘッド2を半田ボール供給部11の上方で下降・上昇させることにより、半田ボールを多数個真空吸着してピックアップする。次に吸着ヘッド2はフラックス供給部40の上方へ移動し、そこで再度下降・上昇することにより半田ボールにフラックスを付着させる。次に吸着ヘッド2は基板51の上方へ移動し、そこで下降・上昇動作をすることにより半田ボールを基板51の電極上に搭載する。吸着ヘッド2の移動路には第1のライン光源38、第2のライン光源56、発光素子58と受光素子59が配置されており、これらの光学手段により、ピックアップミス、半田ボールの落下、搭載ミスなどの有無を検出する。
請求項（抜粋）：
複数個の半田ボールをワークの電極に一括して搭載する半田ボールの搭載装置であって、下面に半田ボールを真空吸着するための複数の吸着孔を備えた吸着ヘッドと、前記吸着孔から前記吸着ヘッド内へ侵入する光を検出する光検出手段と、前記吸着ヘッドに半田ボールを供給する半田ボール供給部と、フラックスを供給するフラックス供給部と、ワークを位置決めするワーク位置決め部と、前記吸着ヘッドの吸着孔に真空吸着されてフラックスが付着した半田ボールを廃棄する廃棄部と、前記吸着ヘッドを、前記半田ボール供給部、前記フラックス供給部、前記ワーク位置決め部、前記廃棄部へ移動させる吸着ヘッド移動手段と、前記吸着ヘッドが前記半田ボール供給部から前記フラックス供給部へ向かう過程でこの吸着ヘッドの下面へ光を照射する第1の光照射手段と、前記吸着ヘッドが前記フラックス供給部から前記ワーク位置決め部へ向かう過程で、この吸着ヘッドの下面へ光を照射する第2の光照射手段と、半田ボールのワークへの搭載ミスを検出する搭載ミス検出手段とを備えたことを特徴とする半田ボールの搭載装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 505
, B23K 3/06
, H01L 21/321
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 T
