特許

J-GLOBAL ID：200903000376639563

重ね合わせ精度測定方法及び測定機

発明者： 細井 啓一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-272450
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108626
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 上部パターンと下地パターンのずれ量を測定する重ね合わせ精度測定機に於いて、上部パターンと下地パターン間に非対称な段差形状を持つ不透過な膜が介在する場合、正確にずれ量を測れないという問題があった。【解決手段】 測定対象の基板上のパターンの非対称な段差形状のエッジ幅を計測し、そのエッジ幅に事前に準備測定用基板に対して実験的に求められた係数jを掛けた補正量をパターンずれの補正量とし、別途測定されたパターンのずれ量値を補正する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第一のパターンと第二のパターンとの相対距離を測定し、第一のパターンと第二のパターンとのずれ量を測定する重ね合わせ精度測定方法に於いて、第一のパターンと第三の層のずれ量を測定する第一段階、第三の層のエッジ部の幅の差を測定する第二段階、事前に準備測定用基板に対して測定し算出された第一のパターンと第二のパターンのずれ量と第一のパターンと第三の層のずれ量との差をエッジ部の幅の差で除算した係数を、第二段階で測定されたエッジ部の幅の差に乗算することによりパターンのずれ量の補正量を求める第三段階、第一段階で測定された第一のパターンと第三の層のずれ量を前記補正量で補正し、第一のパターンと第二のパターンのずれ量を求める第四段階とを有することを特徴とする重ね合わせ精度測定方法。