特許

J-GLOBAL ID：200903000379530570

サンドブラスト装置及びプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法

発明者： 西村 祐行
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316586
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117831
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルの障壁をサンドブラスト法によりパターニングするに際し、サンドブラスト加工時に生じる静電気により基板品質に悪影響を与えないようにする。【解決手段】 基板上に形成した電極12をその端子部12aを露出させた状態で覆うように形成された障壁材料層14を、研削材により切削加工してパターニングする工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、電極12の端子部12aに接触する除電手段22を設け、基板上に発生する静電気を電極12の端子部12aから除電しながらサンドブラスト加工を行うようにする。サンドブラスト加工中に大きな放電を起こすことがないことから、電極や障壁に欠陥を生じることなく、基板品質を良好に保って障壁のパターニングを行うことができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成した電極をその端子部を露出させた状態で覆うように形成された障壁材料層を、噴射ノズルから噴き出す研削材により切削加工してパターニングするのに用いられるサンドブラスト装置において、加工中に電極の端子部に接触する除電手段を具備させたことを特徴とするサンドブラスト装置。

IPC (3件)：

B24C 3/32 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (3件)：

B24C 3/32 D ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (10件)：

5C027AA09 ,  5C027AA10 ,  5C040FA01 ,  5C040GA09 ,  5C040GA10 ,  5C040GB03 ,  5C040GF19 ,  5C040GF20 ,  5C040JA17 ,  5C040MA23