特許
J-GLOBAL ID:200903000384313790
半導体光素子及びそれを用いた光送受信装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小川 勝男
, 田中 恭助
, 佐々木 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-018257
公開番号(公開出願番号):特開2004-235182
出願日: 2003年01月28日
公開日(公表日): 2004年08月19日
要約:
【課題】光導波路を高速光伝送に適した長さにすることが可能で、かつモノリシックに集積することができる半導体光素子及びそれを用いた光送受信装置を提供すること。【解決手段】半導体基板1上に形成した少なくとも2種類の屈折率の異なる半導体層からなる反射器7と、反射器7の上に形成した下部クラッド層3と上部クラッド層4に挟持された光導波路2と、光導波路2の少なくとも一方の端面に基板1面に対して45°の角度をもって配置された反射鏡5と、反射鏡5に対向した位置の基板1の裏面に形成した反射防止膜6とを備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
半導体基板と、該基板の上に形成した少なくとも2種類の屈折率の異なる半導体層からなる反射器と、該反射器の上に形成した下部クラッド層と、該下部クラッド層の上に形成した光導波路と、該光導波路の上に形成した上部クラッド層と、該光導波路の少なくとも一方の端面に上記基板の面に対して45°の角度をもって配置した反射鏡と、該反射鏡に対向した位置の該基板の裏面に形成した反射防止膜とを有していることを特徴とする半導体光素子。
IPC (4件):
H01S5/187
, G02F1/015
, H01L31/10
, H01S5/026
FI (4件):
H01S5/187
, G02F1/015 505
, H01S5/026 616
, H01L31/10 A
Fターム (32件):
2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079AA13
, 2H079BA01
, 2H079CA04
, 2H079EA07
, 2H079EA27
, 2H079EB04
, 2H079HA15
, 5F049MA04
, 5F049MB07
, 5F049NA20
, 5F049NB01
, 5F049QA06
, 5F049QA08
, 5F049QA11
, 5F049SZ01
, 5F049SZ16
, 5F073AA45
, 5F073AA55
, 5F073AA64
, 5F073AA65
, 5F073AA67
, 5F073AA74
, 5F073AA83
, 5F073AB01
, 5F073AB20
, 5F073AB21
, 5F073BA01
, 5F073CA15
, 5F073EA29
, 5F073HA12
引用特許:
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