セラミックグリーンシートの製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295325
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118743
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造する場合にも、表面の平滑性が良好で、ピンホール欠陥などの少ない信頼性の高いセラミックグリーンシートを安定して製造することが可能なセラミックグリーンシートの製造装置を提供する。【解決手段】シート成形手段(リバースロールコータ)13により、セラミックスラリー14をキャリアフィルム12上に塗布してシート状に成形し、乾燥手段(熱風乾燥機)15により、シート状に成形されたセラミックスラリー14を乾燥した後、平滑化手段(カレンダーロール機)20により、乾燥されたセラミックグリーンシート16aを加圧して平滑化することより、表面の面粗さ(Ra)を低減するとともに、密度を向上させる。

請求項１：

セラミックスラリーをキャリアフィルム上に塗布してシート状に成形するシート成形手段と、前記シート成形手段によりシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥する乾燥手段と、前記乾燥することによりキャリアフィルム上に形成されたシートを加圧して、その表面を平滑化する平滑化手段とを具備することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造装置。

IPC (4件)：

H01G 4/12 364 , H01G 4/12 400 , H01G 13/00 331 , H01G 4/30 301

FI (4件)：

H01G 4/12 364 , H01G 4/12 400 , H01G 13/00 331 A , H01G 4/30 301 C

Fターム (23件)：

5E001AB03 , 5E001AE01 , 5E001AE02 , 5E001AE03 , 5E001AE04 , 5E001AH00 , 5E001AH01 , 5E001AH08 , 5E001AJ02 , 5E082AA01 , 5E082AB03 , 5E082BC38 , 5E082FG06 , 5E082FG22 , 5E082FG26 , 5E082FG27 , 5E082FG46 , 5E082FG56 , 5E082JJ03 , 5E082MM07 , 5E082MM11 , 5E082MM22 , 5E082MM24

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平4-010902
特開平3-190703
特開昭64-065817

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審査官引用 (7件)

セラミックシートの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-310831 出願人：太陽誘電株式会社
特開平4-010902
特開平3-190703

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