特許

J-GLOBAL ID：200903000403509847

エネルギー分散型X線マイクロアナライザ

発明者： 大堀 謙一
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087605
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260145
出願日： 1997年03月20日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 X線分析の操作が短時間にしかも簡単に行うことができるエネルギー分散型X線マイクロアナライザを提供すること。【解決手段】 電子顕微鏡1とエネルギー分散型X線分析装置13とこれらを制御するコンピュータ19とからなり、電子顕微鏡1によって得られる電子顕微鏡画像28とエネルギー分散型X線分析装置13によって得られるX線画像29を、コンピュータ19に接続された表示装置26の画面上に表示するように構成されたエネルギー分散型X線マイクロアナライザにおいて、前記画面上に表示された電子顕微鏡画像28における分析位置28Aをポインティングデバイス27で指定することにより、この指定された分析対象位置に電子線5を照射するとともに、エネルギー分散型X線分析装置13がX線スペクトルの取り込みを開始するようにした。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置とこれらを制御するコンピュータとからなり、電子顕微鏡によって得られる電子顕微鏡画像とX線分析装置によって得られるX線スペクトルとをコンピュータに接続された表示装置の画面上に表示するように構成されたエネルギー分散型X線マイクロアナライザにおいて、前記画面上に表示された電子顕微鏡画像における分析位置をポインティングデバイスで指定することにより、この指定された分析対象位置に電子線を照射するとともに、前記エネルギー分散型X線分析装置がX線スペクトルの取り込みを開始するようにしたことを特徴とするエネルギー分散型X線マイクロアナライザ。

IPC (3件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/256

FI (3件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/256

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-051749
  
• 特開昭60-177248
  
• 特開平3-034249
  
• 特開昭62-168325