特許

J-GLOBAL ID：200903000405031308

真空断熱材の製造方法および製造装置

発明者： 岩井 隆賀 ,  岡田 大信 ,  藤波 匠 ,  竹島 久美子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017532
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210290
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】 本発明はゲッタ剤の吸着能力を十分に保持したままガスバリア容器に封入し、内圧を低くするとともに、熱伝導率の経時的安定性の高い真空断熱材の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の真空断熱材の製造方法は、排気手段を有するチャンバ内に内部にコア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリア容器を配置する工程と、このゲッタ剤を局部的に加熱しながらチャンバ内を減圧する工程と、ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有することを特徴とし、本発明の真空断熱材の製造装置は、排気手段を有するチャンバと、このチャンバ内に配設された、内部にコア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリア容器を載置するための載置台と、載置台に載置されたガスバリア容器内に配置されたゲッタ剤を加熱する加熱手段と、載置台のガスバリアの開口部に対応する位置に配設され、このガスバリア容器の開口部を封止する封止手段とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

排気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリア容器を配置する工程と、前記ゲッタ剤を局部的に加熱しながら前記チャンバ内を減圧する工程と、前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有することを特徴とする真空断熱材の製造方法。