異物検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320747
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159617
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】被検査基板の両面に付着した異物を検査できる異物検査装置を提供することである。【解決手段】両面ミラー仕上げの半導体ウェハ31を載せる回転テーブル32を支持するリング状の回転テーブルホルダ33と回転テーブル32を回転させる圧接ローラ36が取り付けられたモータ35とを有し、可動ミラー37、43を用いて、He-Neレーザ14からのレーザ光を両面ミラー仕上げの半導体ウェハ31下面に迂回させ、異物によるレーザ光の乱反射光を検出光学系に導入して受光させる装置構成とする。【効果】被検査基板の両面の異物検査が可能となり、より確実に異物発生工程を特定でき、この異物の発生防止対策をとることで、半導体集積回路等の製造歩留を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

レーザ光源と検出光学系と被検査基板を載置する回転テーブルを有する異物検査装置において、前記被検査基板の上面の異物によるレーザ光源のレーザ光の乱反射光を検査する第1の光学手段と、前記レーザ光源のレーザ光を異物検査をする前記被検査基板の下面に迂回させる第2の光学手段と、前記被検査基板下面上の異物による前記レーザ光源のレーザ光の乱反射光を前記検出光学系に導入する第3の光学手段と、前記回転テーブルをリング状の回転テーブルとし、前記リング状の回転テーブル周辺部に接触して前記リング状の回転テーブルを回転させる回転手段とを有することを特徴とする異物検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 D , H01L 21/66 J

前のページに戻る