特許

J-GLOBAL ID：200903000409712784

薄膜感湿素子およびその製造方法

発明者： 神垣 耕世 ,  永仮 尚謙
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-161914
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015184
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】小型化を達成でき、応答性が向上できる薄膜感湿素子およびその製造方法を提供する。【構成】チタン酸バリウム(BaTiO3 )薄膜からなり、BaとTiのモル比が0.88≦Ti/Ba≦1.00を満足するもので、BaとTiを含む有機金属化合物と溶媒とからなる原料溶液を用いて製造するペロブスカイト結晶型の薄膜感湿素子の製造方法であって、前記原料溶液中に含まれるBaとTiのモル比を0.88≦Ti/Ba≦1.00とした薄膜感湿素子の製造方法である。

請求項（抜粋）：

チタン酸バリウム(BaTiO3 )薄膜からなり、BaとTiのモル比が0.88≦Ti/Ba≦1.00を満足することを特徴とする薄膜感湿素子。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  H01C 7/00

FI (3件)：

G01N 27/12 J ,  G01N 27/12 M ,  H01C 7/00 X