特許
J-GLOBAL ID：200903000411164344
冷陰極電子銃
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184843
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036681
出願日： 1992年07月13日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】安定で、信頼性が高く、消費電力が少なく、電子ビームの電流密度の高い電子銃を実現する。【構成】冷陰極1に真空マイクロエレクトロニクス技術を使用した冷陰極チップ5を用い、その冷陰極チップ5のゲート電極9よりも電子を放出するエミッタ10の先端が突き出た構造とし、この冷陰極チップ5のエミッタ10に対し正あるいは負の電圧を印加したG1電極2と、同じエミッタ10に対し正の電圧を印加したG2電極3で構成している。
請求項（抜粋）：
導電性と半導電性とのうちのいずれか一方の基板と、前記基板上に積層した絶縁層と、該絶縁層の上に積層した金属層と、該金属層と前記絶縁層の一部分に設けられた穴の中に形成され先端が尖鋭化した導電性と半導電性とのうちのいずれか一方の電子放出電極とで形成された微小冷陰極を多数並べた冷陰極チップと、該冷陰極チップと近接した位置に配置された中央部に穴の開いた第1の電極と、該第1の電極と近接した位置に配置された中央部に穴の開いた第2の電極とを有する冷陰極電子銃において、前記電子放出電極の先端を前記金属層の表面よりも突き出させたことを特徴とする冷陰極電子銃。
IPC (2件)：
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