特許

J-GLOBAL ID：200903000418967337

ポジ型レジスト組成物

発明者： 漢那 慎一 ,  水谷 一良 ,  佐々木 知也
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  栗宇 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228787
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069981
出願日： 2002年08月06日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】160nm以下、具体的にはF2エキシマレーザー光(157nm)の光源使用時に十分な透過性を示し、且つ高感度、高解像で塗布性に優れたポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】(A)特定の繰り返し単位を有する、アルカリ可溶性又は酸の作用により分解してアルカリ水溶液への溶解性が向上する樹脂、(B)活性光線又は放射線の作用により酸を発生する化合物及び(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(2b)、(2c)又は(2b’)で表される繰り返し単位を少なくとも1種有する、アルカリ可溶性又は酸の作用により分解してアルカリ水溶液への溶解性が向上する樹脂、 (B)活性光線又は放射線の作用により酸を発生する化合物及び (C)溶剤 を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F7/039 ,  C08F20/28 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  C08F20/28 ,  H01L21/30 502R

Fターム (36件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL26P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA06Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BA22Q ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA62 ,  4J100JA38