長尺ワーク成膜装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-092349
公開番号（公開出願番号）：特開平6-280017
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で長尺ワークの撓みを防止でき、かつ、長尺ワークの両面にも薄膜を形成することができること。【構成】巻出室1と巻取室2との間に長尺ワークWのエッジ部を案内する1対のガイドローラ31、32からなるガイドローラ装置3A、3Bを配置して、長尺ワークWをその薄膜形成面が垂直となる姿勢で巻出室1から巻取室2に搬送する。また、巻出室を巻取室を兼用する巻出/巻取室1とし、巻取室を巻出室を兼用する巻取/巻出室2とし、これらの間で長尺ワークWを両方向に搬送することにより多層薄膜の形成を可能とするとともに、巻出/巻取室1と巻取/巻出室2との間に長尺ワークWのエッジ部を案内する1対のガイドローラからなるガイドローラ装置3A、3Bを設け、このガイドローラ装置3A、3Bにおけるローラ間隔を外部から調整可能としてローラ間隔を適正に調整する。

請求項（抜粋）：

長尺ワークの巻出室と、この巻出室から巻出された長尺ワークに薄膜を形成するための成膜室と、この成膜室からの長尺ワークを巻取る巻取室とを備えてなる長尺ワーク成膜装置において、巻出室から長尺ワークをその薄膜形成面が垂直となる姿勢で巻取室に搬送するとともに、巻出室と巻取室との間に長尺ワークのエッジ部を案内する1対のガイドローラからなるガイドローラ装置を設けたことを特徴とする長尺ワーク成膜装置。

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