特許
J-GLOBAL ID:200903000427413310
微粒子発生装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小沢 信助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-302117
公開番号(公開出願番号):特開平7-159294
出願日: 1993年12月02日
公開日(公表日): 1995年06月23日
要約:
【要約】【目的】 清掃や試料交換が容易でかつ,少ない粉体で凝集のない微粒子の発生が可能な装置を提供する。【構成】 貫通孔3と,該貫通孔の途中にほぼ直角方向に形成されたノズル4とからなり,前記貫通孔に気体を流すことにより前記ノズル4の先端が負圧になるようにされたアスピレータ1と,前記ノズルの先端付近に配置され,前記ノズルの先端に対して相対的に移動する平板5と,からなり,前記平板5に載置された試料微粒子9を前記アスピレータ1で吸引して前記貫通孔3の他端から吹き出すように構成した。
請求項(抜粋):
貫通孔と,該貫通孔の途中にほぼ直角方向に形成されたノズルとからなり,前記貫通孔に気体を流すことにより前記ノズルの先端が負圧になるようにされたアスピレータと,前記ノズルの先端付近に配置され,前記ノズルの先端に対して相対的に移動する平板と,からなり,前記平板に載置された試料微粒子を前記アスピレータで吸引して前記貫通孔の他端から吹き出すように構成したことを特徴とする微粒子発生装置。
IPC (2件):
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