特許
J-GLOBAL ID：200903000429259849
低ビーム発散となる,低エネルギービームの抽出および減速
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
竹内 澄夫
, 堀 明▲ひこ▼
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-544749
公開番号（公開出願番号）：特表2004-525480
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
低エネルギービームの生成のためのイオン光学方法および装置が提供される。本装置は,イオンビームを加速するための加速電極,加速電極の下流にある減速電極(ビームプラズマ中の電子が減速電極に到達することを防止する)を含む。減速電極は,熱イオンが加速電極に到達することを防止するために,ビームプラズマ中の熱イオンに電位バリアーを与えるために選択される電圧でバイアスされる。イオン光学電極は,電子はねのけ電極または磁気要素として機能することができる。加速電極,減速電極またはそれら両方は,イオンビームに対して横方向に分離されてもよく,分離された電極部は個別に制御可能にされる。イオン光学装置は,イオン源抽出システムまたは減速イオンシステムとして機能することができる。
請求項（抜粋）：
最終イオンビームエネルギーをもつビームプラズマを有する低エネルギーイオンビームを生成するためのイオン光学装置であって,
イオンビームを加速する加速電極と,
イオンビームを減速するための,前記加速電極の下流にある減速電極であって,ビームプラズマ中の熱イオンに電位バリアーを与え,熱イオンが加速電極に到達することを防止するべく選択された電圧をもつ,ところの減速電源と,
ビームプラズマ中の電子が前記減速電極に到達することを防止ための,前記減速電極の下流にあるイオン光学要素と,
を含む,イオン光学装置。
IPC (3件)：
H01J37/317
, C23C14/48
, H01L21/265
H01J37/317 Z
, C23C14/48 Z
, H01L21/265 603B
4K029DE04
, 5C034CC01
, 5C034CC03
