特許
J-GLOBAL ID：200903000431500324
照明装置及びそれを用いた投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256485
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094403
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 レチクルの照射範囲の形状に応じて適切なる照明系を選択することにより効率的な照明を行った照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 光源からの光束を光学手段を介して照射面上を照明する際、該光学手段は複数の微小レンズを2次元的に配列したオプティカルインテグレータを複数個有し、このうち1つのオプティカルインテグレータを光路中に挿脱可能に配置しており、該オプティカルインテグレータはそれを構成する複数の微小レンズからの射出光束の射出角が、該複数のオプティカルインテグレータ間において互いに異なっていること。
請求項（抜粋）：
光源からの光束を光学手段を介して照射面上を照明する際、該光学手段は複数の微小レンズを2次元的に配列したオプティカルインテグレータを複数個有し、このうち1つのオプティカルインテグレータを光路中に挿脱可能に配置しており、該オプティカルインテグレータはそれを構成する複数の微小レンズからの射出光束の射出角が、該複数のオプティカルインテグレータ間において互いに異なっていることを特徴とする照明装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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