特許
J-GLOBAL ID：200903000438666430
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056318
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243546
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の品質評価および管理が容易な異物検査装置を提供する。【構成】 被検査物表面にレーザ光を直線走査しながら、その直線走査の方向に対して直交する方向に被検査物を移動させ、前記被検査物表面での散乱光を光検出器で捕らえ、この散乱光に基づくデータにより前記被検査物表面の異物を検査するように構成された異物検査装置において、この異物検査装置によって標準サンプルを実際に検査して得られた実測粒径分布と、前記標準サンプルの既知の標準粒径分布とを比較し、前記実測粒径分布と前記標準粒径分布とが一致するように、前記レーザ光の直径を変更できるように構成されている。
請求項（抜粋）：
被検査物表面にレーザ光を直線走査しながら、その直線走査の方向に対して直交する方向に被検査物を移動させ、前記被検査物表面での散乱光を光検出器で捕らえ、この散乱光に基づくデータにより前記被検査物表面の異物を検査するように構成された異物検査装置において、この異物検査装置によって標準サンプルを実際に検査して得られた実測粒径分布と、前記標準サンプルの既知の標準粒径分布とを比較し、前記実測粒径分布と前記標準粒径分布とが一致するように、前記レーザ光の直径を変更できるように構成されていることを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 15/02 A
, G01N 21/88 F
