特許

J-GLOBAL ID：200903000447107614

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 谷川 公一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291814
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111018
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 感度、飽和信号量等の特性を向上させ、また、感度、飽和信号量等の特性を維持しつつ、単位画素サイズの縮小、光学系縮小や多画素化を図る。【解決手段】 AL配線やPAD部、遮光部などの領域23のAL層24の膜厚(約1μm)よりも、FD部10のAL配線13の膜厚を薄くする。これにより、AL配線13を取り囲む絶縁膜21との寄生容量を減らす。AL配線13の膜厚を薄くするにつれて、寄生容量が減少し、変換効率が向上する。AL配線13の膜厚を従来の1/2にすることで、変換効率は約4.3%向上する。

請求項（抜粋）：

マトリクス状に配列され、入射光をその光量に応じた量の電荷に変換する複数の光センサと、前記光センサから読み出された信号電荷に基づいて出力信号を生成する出力回路とを備える固体撮像装置において、前記出力回路に設けられ、前記光センサから読み出された信号電荷を電圧変換する変換部における導電部の膜厚D1と、その他の領域の導電部の膜厚D2とが、D1<D2であることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H04N 5/335 U ,  H04N 5/335 F ,  H01L 27/14 D

Fターム (17件)：

4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA04 ,  4M118DD04 ,  4M118DD09 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FA13 ,  4M118GB11 ,  5C024AA01 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5C024GA22