特許

J-GLOBAL ID：200903000448660139

熱処理用ボート

発明者： 沼 野 正 訓 ,  有 働 祐 宗 ,  細 木 芳 悟
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059742
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251961
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 熱処理過程においてウェーハに生じるスリップ、OSFを減少する【解決手段】 ウェーハを水平に且つ縦方向に複数保持する熱処理用ボートにおいて、ウェーハ21を保持するボート4の載置部の載置面14aがウェーハ21の撓みに対応した傾斜角αを有し、ウェーハと面で接触する。ウェーハの内部応力が減少してスリップが減少する。

請求項（抜粋）：

複数の支柱とこれ等の支柱同士を連結する連結部と、各支柱の同じ高さ位置に配設されてウェーハを載置する複数のウェーハ載置部と、を備える熱処理用ボートであって、各ウェーハ載置部は、前記ウェーハの撓みに対応した傾斜面を有し、この傾斜面上に前記ウェーハを載置する、ことを特徴とする熱処理用ボート。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

H01L 21/22 511 G ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/324 D ,  H01L 21/68 V ,  H01L 21/205