特許
J-GLOBAL ID：200903000454245607
容量式加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073080
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289048
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】自動車の車体制御などの安全制御に用いられる容量式加速度センサにおいて、温度変化によるセンサチップの反り変形を抑えることによって、検出精度の高い加速度センサを提供する。【構成】ビーム2で可動電極3を支持する可動電極形成層8と、表面に固定電極4を有する2枚の固定電極形成層7と、可動電極3と固定電極4を対向させて可動電極形成層8を2枚の固定電極形成層7で挟持して成るセンサチップ1と、センサチップを基板10に固着する固着層9と、前記固着層の固着部分の面積を制御する手段、たとえば凸部11から成る容量式加速度センサ。
請求項（抜粋）：
加速度を検出するためのセンサチップと、前記センサチップを搭載する基板と、前記センサチップと前記基板とを互いに固定する固着層とを有してなる容量式加速度センサにおいて、前記固着層が、前記センサチップの内部応力を抑制する機構を備えた構造体であることを特徴とする容量式加速度センサ。
引用特許：
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