特許

J-GLOBAL ID：200903000460468464

感光性組成物及び酸発生剤

発明者： 児玉 邦彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-340914
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177486
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】特に220nm以下の光に対して透明性が高い新規な酸発生剤を提供し、また、その酸発生剤を用いて、高感度、高解像力で、良好なプロファイルを示し、且つデフォーカスラチチュードが広い感光性組成物を提供する。【解決手段】炭素原子をひとつ介してカルボニル基と結合したスルホニウムカチオンを2個又は3個有する酸発生剤、及び、当該酸発生剤を含有する感光性組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)活性光線の照射により酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/004 503A ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (15件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17